エネルギー効率1000倍・ノイズ100分の1に改善、高感度で広帯域な計測が可能な低消費電力磁気センサーを開発

（a）MI素子の概要図。（b）開発した磁気センサーのブロック図。（c）MI素子向け計測用ASICのチップ写真
産業技術総合研究所（産総研）は2月19日、低ノイズ、広帯域な磁気センサーを開発したと発表した。従来の方式であるフラックスゲート型磁気センサーと比較して、アナログ回路の動作エネルギー効率を示す性能指標「正規化エネルギー」が1000倍改善され、正規化エネルギーの低い（電気効率が高い）集積化フラックスゲート型磁気センサーに比べて、ノイズは1/100を実現した。生体磁気計測や産業用計測における、小型、高感度、低消費電力のセンシングシステムが期待できるという。
これは、産総研デバイス技術研究部門先端集積回路研究グループ（秋田一平氏）と愛知製鋼との共同研究。低ノイズで広帯域な磁気センサーは、脳磁図、筋磁図などの生体磁気、自動運転、非破壊検査、電流センシングといった多くの分野で求められているが、これまで使われてきた集積化フラックスゲート型の磁気センサーはチップサイズと小型ながら磁気ノイズが大きい。また、低ノイズな磁気センサーはサイズや駆動電流が大きくなるという難点がある。
開発した磁気センサーの性能比較
そこで研究グループは、低ノイズ化、低消費電力化、小型化を同時に実現するものとして、愛知製鋼が開発した磁気インピーダンス素子（MI素子）に着目した。この素子を、産総研が研究してきた低消費電

リンク元