温室効果ガス不要の新プラズマ処理技術を実用化

京都工芸繊維大学発のベンチャーである魁（さきがけ）半導体は2020年4月7日、PFC（パーフルオロカーボン）ガスの代わりに固形フッ素樹脂を使用しプラズマ ...
Source: アラートベンチャーニュース

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