半導体製造リソグラフィー用光源2機種を発表=ギガフォトン〔BW〕

【ビジネスワイヤ】半導体リソグラフィー光源のギガフォトン（栃木県小山市）は、２０２０年の新ラインアップとして光源２機種を発表した。新型ＡｒＦ（フッ化アルゴン）液浸用レーザー「ＧＴ６６Ａ」は、新開発の光学モジュールを搭載し、露光面でのビーム均一性を改善。新型ＫｒＦ（フッ化クリプトン）レーザー「Ｇ６０Ｋ」は、新型電源ユニットを導入し、従来比１．５倍の出力を実現した。　【注】この記事はビジネスワイヤ提供
Source: グノシー経済

リンク元