三菱ガス化学、半導体向け超純過水製造設備を建設 台湾子会社で23年稼働

三菱ガス化学は、傘下の台湾子会社（台中市）に、不純物を極力含まない高純度の過酸化水素水「超純過酸化水素（超純過水）」の製造設備を建設すると発表した。超純過水は半導体製造工程で洗浄や研磨に使われる。
Source: グノシー経済

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