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サムスン、EUVリソグラフィによる7nmチップの製造を開始

サムスンは、極端紫外線(EUV) リソグラフィを利用するLPP(Low Power Plus)プロセスでの7nm(ナノメートル)チップの製造を開始したと発表した。
Source: Cnet

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