日立、イオンビーム応用装置製造事業をYACに譲渡

日立製作所は、同社子会社である日立茨城テクニカルサービスが手がけるイオンビーム応用装置製造事業を、2017年2月1日付けで、ワイエイシイ(YAC)に譲渡することで合意した。
同装置事業は、独自のバケット型イオン源技術を用いて微細加工を行うドライエッチング装置などを手がけてきており、MEMSやセンサ、パワーデバイス、高周波デバイス、光デバイスなどで活用されてきた。
一方のYACはFPD向けエッチング
Source: グノシー経済

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